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加工工艺流程 |
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原料备料 | ·····
> | 粉末处理 | ·····> | 烧结成型 | ·····> | 材料检测 | ·····> | 机加工成型 |
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选取高品质原材料, 部分选择进口料, 以保证靶材品质 |
| 合成,球磨 制粉,混粉 |
| 冷压烧结 热压烧结 |
| 外观检测 致密度检测 |
| 切割 磨床加工 |
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外观尺寸检测 | ·····
> | 绑定焊接 | ·····> | 清洗终检 | ·····> | 包装出库 |
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检测成品外观 及尺寸公差 |
| 金属化处理 焊接绑定 |
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成分质量控制 |
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原料成分分析: | 通过
ICP设备检测分析,杂质元素含量,确保纯度达标;通过XRD检测粉末成分,是否成 相等
情况 |
↓ |
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外观尺寸检测: | 通过千分尺,精密卡尺,测量产品
尺寸,以确保符合图纸要求;通过表面清洁度仪测量产 品表面光洁度及清洁程度。 |
↓ |
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探伤检测: | 通过探伤设备检测背靶,确保绑定层均匀,绑定率高 |
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应用领域及适用设备 |
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适用设备: | 应用于各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备 |
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应用领域: | 科学实验或研究方面应用,微纳加工,器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏
、 平面
显示、特种涂层等 |
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部分品牌: | 国产品牌:北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微
纳、 泰科诺等;进口品牌:Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等 |
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包装及保存说明 |
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出库包装: | 内部真空袋真空包装,外部为定制产品靶材盒,纸箱快递运输 |
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储存方法: | 收到产品后
,需储存于干燥环境,密封包装,轻拿轻放,防压防撞 |
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使用注意: | 使用前观察靶材表面是否清洁,带上干净的手套操作,避免直接用手接触物料,勿被油污等异物污染 |