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金属溅射靶材
    基于坚实的研发背景和生产能力,中诺新材拥有粉末冶金,真空感应熔炼,悬浮熔炼等多种铸锭工艺,配合先进的热处理工艺及精密机加工工艺,生产加工各种高纯金属及稀土系列靶材,广泛应用于电子半导体,太阳能光伏,平面显示,磁记录,功能性薄膜等领域。
常规产品列表(更多产品可定制)
类别品 名符号纯度品名符号纯度

常规

金属

靶材

高纯铝靶Al5N-6N高纯镁靶Mg3N5
高纯铜靶Cu4N-6N高纯铁靶Fe3N5-4N
高纯钛靶Ti3N-5N高纯铟靶In4N-5N
高纯镍靶Ni3N-5N高纯锡靶Sn4N-5N
高纯钴靶Co3N5高纯铪靶Hf3N 3N5
高纯锌靶Zn4N-5N高纯锆靶Zr2N5 3N

粉末

冶金

靶材

高纯铬靶Cr2N5 3N5高纯钒靶V3N 3N5
高纯钨靶W3N5 4N 5N高纯钽靶Ta3N5 4N
高纯钼靶Mo3N5 4N高纯铌靶Nb3N5 4N
高纯铼靶Re3N 4N   
 

贵金

属靶

高纯金靶Au4N高纯钌靶Ru3N5
高纯银靶Ag4N高纯铱靶Ir3N5
高纯铂靶Pt4N高纯铑靶Rh3N5
高纯钯靶Pd4N   
 

其他

靶材

高纯硼靶B3N高纯铋靶Bi4N
高纯碳靶C4N 5N高纯硒靶Se4N
高纯硅靶Si5N 6N高纯锑靶Sb4N
高纯锗靶Ge6N高纯碲靶Te4N
高纯锰靶Mn3N高纯镉靶Cd4N
高纯铅靶Pb4N   
 

稀土

金属

靶材

高纯钪靶Sc3N 4N高纯铕靶Eu3N 4N
高纯钇靶Y3N 4N高纯铽靶Tb3N 4N
高纯镧靶La3N 4N高纯镝靶Dy3N 4N
高纯铈靶Ce3N 4N高纯钬靶Ho3N 4N
高纯镨靶Pr3N 4N高纯铒靶Er3N 4N
高纯钕靶Nd3N 4N高纯铥靶Tm3N 4N
高纯钐靶Sm3N 4N高纯镱靶Yb3N 4N
高纯钆靶Gd3N 4N高纯镥靶Lu3N 4N
 


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